石鑫华视觉 发表于 2013-8-2 20:59:27

白光干涉显微镜

白光干涉显微镜（White light Interferenc microscope），是使用光干涉原理来展示物件的内部或表面的显微镜。通过纳米垂直扫描器与干涉物镜使分辨率达到 0.1nm,因此应用于3D高精度量测
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